Novolak
Novolaks (incorretamente frequentemente novolaks ) são resinas fenólicas com uma proporção formaldeído - fenol de menos de 1: 1, que são obtidas por condensação ácida dos materiais de partida. Novolaks são termoplásticos e podem ser obtidos pela adição de doadores de formaldeído, como B. hexametilenotetramina são curados. Isso resulta em fenoplastos infusíveis .
Combinados com substâncias fotossensíveis, como, por exemplo, a diazonaftoquinona , são utilizados os novolaks da microeletrônica e da micromecânica para a fotolitografia como fotorresiste . Após a exposição e o desenvolvimento, uma superfície de laca estruturada é deixada que protege o substrato da próxima etapa do processo (por exemplo , implantação de íons , crescimento galvânico de metal, oxidação térmica , corrosão, etc.).
Novolaks são geralmente fiados em um substrato por um aplicador de centrifugação e resistir a espessuras de até 10 µm por etapa de revestimento. Para espessuras de camada maiores é recomendado o PMMA .
Links da web
- Douglas R. Robello: The Chemistry of Photoresists ( Memento de 26 de março de 2014 no Internet Archive ). In: Chem 421: Introduction to Polymer Chemistry. 2002, acessado em 21 de maio de 2010.
- Heinrich Kirchauer: Composição de DQN Resist . Institute for Microelectronics, TU Vienna, 17 de abril de 1997, acessado em 21 de maio de 2010.
Evidência individual
- ↑ Peter Kurzweil: Química . 10ª edição. Springer Fachmedien, Wiesbaden 2015, ISBN 978-3-658-08660-2 , p. 254 , doi : 10.1007 / 978-3-658-08660-2 .
