Fokus variation - Focus variation

Fokusvariation er en metode, der bruges til at skærpe billeder og måle overfladens uregelmæssigheder ved hjælp af optik med begrænset dybdeskarphed .

Algoritme

Algoritmen fungerer som følger:

  1. først fanges billeder med forskelligt fokus. Dette gøres ved at flytte prøven eller optikken i forhold til hinanden.
  2. derefter beregnes fokus for hvert plan for hver position
  3. flyet med det bedste fokus bruges til at få et skarpt billede. den tilsvarende dybde giver dybden i denne position-

Optik

Fokusvariation kræver en optik med meget lille dybdeskarphed . Dette kan realiseres, hvis der anvendes en mikroskopi som optik og et mikroskopmål. Disse mål har en høj numerisk blænde, der giver en lille dybdeskarphed.

Anvendelse

Anvendelsen af ​​denne metode er til optisk overflademetrologi og koordinatmålemaskine . Dette betyder måling af form, bølgighed og ruhed på prøver. Med optimerede hardware- og softwarekomponenter kan en lateral opløsning på 500 nm (begrænsning af lysets bølgelængde) og en lodret opløsning på flere nm nås.

Fordele og ulemper

Fordele:

  • kan bruges på prøver med stejle flanker. Dette skyldes, at et ringlys kan bruges til at udvide lysåbningen
  • kan levere farveinformation
  • kan måle på ru overflader

Ulemper:

  • kan ikke bruges, hvis overfladen af ​​prøven ikke giver struktur i billedet. Det betyder, at det ikke kan bruges til wafere og glas

Standardisering

ISO- komitéen arbejder på en ny serie ISO-standarder, der kaldes ISO 25178- serien. Del 6-dokumentet beskriver de tilgængelige metoder til ruhedsmåling . Fokusvariation er en af ​​de beskrevne metoder.

Se også

Referencer

  1. ^ Alicona. "Fokusvariation - en robust teknologi til optisk 3D-overflademetrologi med høj opløsning" (PDF) . Hentet 28. september 2017 .
  2. ^ Burmudez, Carlos. "Aktiv belysning fokus variation" . Hentet 22. oktober 2020 .